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对于光学薄膜,其抗激光损伤阈值(laser-induced damage threshold,LIDT)越高,表示需要更大能量密度的激光才能使其破坏,也就有着更好的抗激光损伤性能,能够促进激光系统向更高功率、更大能量的方向发展。相较于物理法制备激光薄膜,使用溶胶-凝胶法制备得到的薄膜抗激光损伤能力更好。但是溶胶-凝胶薄膜折射率低,需要退火增大薄膜致密度,从而提高薄膜的折射率。然而,溶胶-凝胶薄膜的缺点是不耐高温,高温极大降低薄膜的LIDT,同时也限制了大功率激光系统在苛刻环境下的应用。本文通过对比研