【摘 要】
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进入八十年代以来,各种声表面波(SAW)物理和化学传感器正在以其独特的优点,越来越广泛地受到人们的重视.这些优点包括:极高灵敏度、准数字化的频率输出、与微加工工艺兼容的
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进入八十年代以来,各种声表面波(SAW)物理和化学传感器正在以其独特的优点,越来越广泛地受到人们的重视.这些优点包括:极高灵敏度、准数字化的频率输出、与微加工工艺兼容的良好的结构工艺性能等.该文概括地讨论了各种SAW物理和化学温度传感器的工作原理.从SAW传感器的应用角度出发,详细分析了影响SAW传感器使用精度、灵敏度、迟滞性等特性参数的各种因素.在此基础上,讨论了传感器设计中在基片材料选择、延尺线优化、电子线路设计等方面应当注意的各种问题.在试验中,以SAW温度传感器为例,根据YZ切割铌酸锂(LiNbO<,3>)基片的温度频率特性,在中心频率49MHz的SAW延迟线上实现了SAW温度传感器,并对实验结果进行了详细的分析.结果表明,传感器的输出频率与环境温度变化有着良好的线性性.试验测得的传感器灵敏度达3.5KHz/℃.对以上SAW温度传感器特性参数的理论分析方法,同样地可以应用于其他各种基与频率测量的SAW物理和化学传感器.
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