基于表面等离激元的空间光定向耦合入波导及应用研究

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空间光广角接收在自由光通信、光探测、光电集成及生物化学传感等领域都具有重要的意义。利用表面等离激元(Surface Plasmon Polariton,SPP)突破衍射极限的新颖特性,有望解决传统光学系统视场角与光学增益之间的矛盾,扩展接收视场角,为广角接收提供可靠的解决方案,是空间光接收的发展方向。而基于SPP的空间光耦合入波导及定向传输,是广角接收及后续应用的核心组成部分,是新型SPP微纳器件以及偏振透明光电器件的实现前提。本论文围绕基于SPP的空间光耦合入波导及定向传输与应用机制,从理论、仿真计算、实验验证和应用讨论等多方面展开深入研究,主要内容包括广角宽带耦合入Plasmonic波导的方法研究,广角耦入Plasmonic波导的实验验证,偏振不敏感的定向耦入波导方案,以及耦入波导SPP模式的滤波、波长解复用等定向应用研究,具体工作如下:  首先,提出并研究了基于等离子临界角(Plasmonic Critical Angle,PCA)现象结合亚波长光栅效应的空间光耦合方法,能够将入射TM偏振光广角宽带的定向耦合入金属-电介质-空气(Metal-Dielectric-Air,MDA)等离子波导,并高效单向激发SPP模式。利用第0阶光栅共振激发MDA波导中正向传播的SPP模式、PCA附近宽带激发金属光栅上表面正向传播的SPP模式这两个物理效应,通过合理设计耦合结构,使得两个耦合机制同时起作用,从而将TM偏振光广角宽带耦入MDA波导。分析了耦合结构的物理原理及结构参数需满足的条件,讨论了其接收角度范围,耦合带宽,耦合接收效率,单向激发等特性。  接下来,通过实验验证了基于PCA现象和亚波长光栅效应的空间光广角耦合原理。自主设计并搭建了精密可调节的CCD远场显微成像系统和广角度实验测试平台。利用可旋转平移的反光镜,动态可控的精确改变入射角度,实现光从衬底入射至目标结构。通过电子束沉积、FIB刻蚀、电介质旋涂等加工流程,完成了目标结构和对照结构的加工制作,并利用测试平台对样片完成实验测试。从实验上证明了,基于PCA和光栅效应相结合的广角耦合原理,可实现TM偏振空间光的广角(25°)、单向(rexp>10dB)耦合入MDA等离子波导,在空间光耦合接收,新型光电器件,以及集成光子回路等方面具有重要的应用价值。  进一步,研究并利用MDA等离子波导同时支持TM Plasmonic模式和TE Photonic模式传播的特性,分别提出了两种对入射光偏振不敏感的双向分偏振耦合入波导结构,可同时耦合接收TM和TE偏振光并定向激发Plasmonic模式和Photonic模式:首先,基于光栅Bragg矢量匹配原理,设计了细缝阵列光栅结构,实现高效的分偏振双向耦合入MDA波导,通过仿真计算验证了设计方法的正确性和一般普适性,讨论了其性能指标,该结构耦合接收角度谱宽度较窄;其次,基于具有偏振选择性的金属-电介质凹槽阵列,提出了一种新型的非对称细缝-凹槽天线结构,阐明了结构的工作原理和设计方法,定义并讨论了品质因数(Figures of Merit,FOM)随入射波长与角度变化的耦合性能,可实现广角的分偏振双向耦入MDA波导。有望解决金属等离子器件只适用于TM偏振光的耦合问题,提供了Plasmonic模式与Photonic模式结合使用的潜在平台。  最后,研究和讨论了耦合入金属-介质-金属(Metal-Insulator-Metal,MIM)等离子波导光模式的定向传输与应用问题。基于MIM波导与共振微腔,研究了MIM波导的传播特性、等离子圆形微腔的共振模式特性,建立了时域耦合模理论模型,利用时域有限差分FDTD方法仿真分析了波导与微腔之间的耦合问题。分别提出了基于边耦合双微腔的三波长定向解复用结构,以及基于微腔耦合级联的可扩展多波长定向解复用结构,可实现适用于集成光通信的纳米量级光学滤波和波长选择功能,完成对耦入波导光信号的定向应用,并讨论了器件的传输性能与应用前景。
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