【摘 要】
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该论文回顾了面型检测的历史和高精度面型检测的研究现状,介绍了采用干涉计量方法进行面型检测的基本原理.对于两种不同的干涉法面型检测技术,即相移法面型检测技术和相关面
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该论文回顾了面型检测的历史和高精度面型检测的研究现状,介绍了采用干涉计量方法进行面型检测的基本原理.对于两种不同的干涉法面型检测技术,即相移法面型检测技术和相关面型检测技术,在文中给出了详细的理论介绍.该论文选择并实现了相关法面型检测方案,系统达到了纳米级纵向分辨和亚微米级横向分辨的高精度面型检测能力.在该论文中,还讨论了在衍射受限情况下的相移法面型检测技术的纵向分辨能力限制的问题,以及在小视场照明情况下利用变技术进行超经典衍射极限成像的问题等.
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