【摘 要】
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卤代溶剂(CFCs)和挥发性有机溶剂(VOC)是现今工业生产中应用最多的清洗溶剂.随着环保意识的不断加强,寻找CFCs、VOC的替代溶剂,开发环境友好的清洗剂和清洗方法成已为当务之
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卤代溶剂(CFCs)和挥发性有机溶剂(VOC)是现今工业生产中应用最多的清洗溶剂.随着环保意识的不断加强,寻找CFCs、VOC的替代溶剂,开发环境友好的清洗剂和清洗方法成已为当务之急.为此目的,该论文对"清洁溶剂"超临界二氧化碳(SCCO<,2>)在工业清洗中的应用进行了较为系统的研究. 该论文研究了具有不同形状、结构的近二十种实验材料上不同污垢的SCCO<,2>清洗,结果表明: 除了某些高分子聚合物基体会在SCCO<,2>中发生形变外,SCCO<,2>可以安全地用于对金属、改性聚合物、硅片、玻璃类基体的清洗中,没有变形; 对于非极性污垢,清洗效率可以达到80﹪以上,但对于极性较强的污垢或颗粒状污垢,SCCO<,2>纯流体已不能达到满意效果; 基体的形状结构对清洗的影响很大,有死角、暗孔、多孔结构的基体比没有这种结构的基体清洗困难.对于平板材料,SCCO<,2>的清洗效率足以达到工业清洗标准,SCCO<,2>可以作为CFCs的替代溶剂,消除环境污染. 另外,对光刻胶的SCCO<,2>清洗去除进行了初步研究.发现加入丙酮携带剂可以有效去除正型SPR光刻胶,进一步研究了SCCO<,2>的温度、压力、CO<,2>密度对去除SPR光刻胶的影响;提出了在SCCO<,2>-乙醇体系中加入反应剂H<,2>O<,2>以清洗去除OMR-85光刻胶的方法,清洗效果得到大幅度改善.
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