【摘 要】
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该文分析了国内外石英摆片的制造工艺和激光切割技术的研究现状,提出了用激光切割这一先进的工艺手段来成形石英摆片.该文从讨论石英材料的物理和化学性质开始,指出石英材料
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该文分析了国内外石英摆片的制造工艺和激光切割技术的研究现状,提出了用激光切割这一先进的工艺手段来成形石英摆片.该文从讨论石英材料的物理和化学性质开始,指出石英材料加工的特殊性;研究了激光切割石英材料的物理过程,确定了激光切割功率、光斑直径、切割速度及材料本身的性质等影响切割质量的加工参数;分析了石英材料和CO<,2>激光器的特点,探讨了激光切割加工石英材料的可行性和优越性;通过对石英摆片的零件和试验分析,选择了激光切割石英摆片的试验装置和加工方法;以影响激光切割加工的特点,提出了激光切割石英摆片的工艺流程;在大量试验数据的基础上,针对影响因素中的重要因素,利用回归分析技术,分别建立了基于激光器功率和切割速度的数学模型;并以该数学模型为基础,进行了理论分析,建立了激光器功率、切割速度和切割深度关系图,并用试验加以验证.利用此关系图对实际生产中激光器功率和切割速度的选择具有一定的指导意义.该文基于新技术在新工艺中的应用,用试验和理论分析的方法研究激光切割成形石英摆片的可行性及切割参数对加工质量的影响,为该制造工艺的实际应用提供依据.
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