【摘 要】
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该文作者研究了碳纳米管的各种生长工艺,提出了一个专用CNT低温生长设备——等离子体增强光热CVD设备的设计方案,给出了其设计指标和总体结构设计并研制出样机.实验数据表明
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该文作者研究了碳纳米管的各种生长工艺,提出了一个专用CNT低温生长设备——等离子体增强光热CVD设备的设计方案,给出了其设计指标和总体结构设计并研制出样机.实验数据表明该设备的各项技术指标均达到了预期的设计要求.该设备利用等离子体活化催化剂、红外光加热生长CNT,把两套工艺有机的结合在一起,在国内属于首创.利用该光热CVD设备,作者对配套的CNT低温生长工艺进行了初步研究.作者成功地进行了催化剂的制备和图形化工艺研究.600℃低温下,在5×5cm<'2>Ni片衬底上生长出直径为60nm的碳纳米管.可以预见,经过进一步优化工艺,在大面积衬底上低温生长CNT是可行的.这将解决FED用CNT阴极的三个关键问题:低温生长、大面积均匀生长、图形生长,使长期以来阻碍CNT—FED商业化进程的难题有望在本课题中得到解决.
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