【摘 要】
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该文的主要研究工作是红外和可见光垂直腔面发射激光器的研制和理论分析.研究小组自己设计并研制了红外和可见光两种波长、工艺简单的钨丝掩膜质子轰击垂直腔面发射激光器新
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该文的主要研究工作是红外和可见光垂直腔面发射激光器的研制和理论分析.研究小组自己设计并研制了红外和可见光两种波长、工艺简单的钨丝掩膜质子轰击垂直腔面发射激光器新结构器件.这种器件制备重复性好,均匀性高,简单易行,适于批量生产,得到了室温连续工作的红外器件,发射波长877nm,最低阈值13mA,最大输出功率4mW,还在国内首次实现650nm的可见光垂直腔面发射激光器的室温连续工作,阈值3.75mA,脉冲工作时,阈值电流2.4mA峰值输出功率337μW.为了进一步减小有源区面积,又设计了H型垂直腔面发射激光器的新结构,初次实验就实现了红外VCSEL的宽脉冲工作.对器件发热严重问题,通过分析器件热源,利用简化扫热模型,着重分析了可见了光垂直腔面发射激光器的热特性,得到了有源区温度升高的理论值,在阈值电流注入的情况下,有源区半径r<,A>为7.5μm时,有源区中心温度升高达到22℃,这一结果与实验报道符合得很好,还讨论了器件结构参数对热特性的影响.通过求解稳态载流子速率方程和场方程,得到阈值电流附近光基模发射时光场的解析表达式,在阈值以上时,通过适当的近似,用数值分析方法,得到了多阶横模的数值解,从理论上指出,这种结构垂直腔面发射激光器的多模行为受空间烧孔影响很大.
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