【摘 要】
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Ga N器件具有工作频率高、输出功率大、开关损耗小等一系列优良特性,因此近年来得到越来越广泛的应用,与之配套的Ga N驱动芯片已成为了当前研究的热点之一。然而Ga N驱动芯片中的自举二极管在高频应用中极易发生反向恢复失效并致使整个芯片损坏,所以优化自举二极管反向恢复鲁棒性对于提升Ga N驱动芯片的可靠性具有重要意义。本文基于多元胞自举二极管,对其反向恢复鲁棒性进行研究,发现在反向恢复期间,靠近终端
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Ga N器件具有工作频率高、输出功率大、开关损耗小等一系列优良特性,因此近年来得到越来越广泛的应用,与之配套的Ga N驱动芯片已成为了当前研究的热点之一。然而Ga N驱动芯片中的自举二极管在高频应用中极易发生反向恢复失效并致使整个芯片损坏,所以优化自举二极管反向恢复鲁棒性对于提升Ga N驱动芯片的可靠性具有重要意义。本文基于多元胞自举二极管,对其反向恢复鲁棒性进行研究,发现在反向恢复期间,靠近终端的元胞漂移区内空穴可被阳极和终端接地环同时抽取,抽取速率较快;而位于中间元胞漂移区内的空穴只能被阳极抽取,抽取速率较慢。由于元胞间空穴抽取速率的差异,多元胞自举二极管容易在载流子抽取速率较慢、储存数量较多的中间元胞发生动态雪崩,导致多元胞自举二极管反向恢复鲁棒性远低于单元胞自举二极管。基于上述分析,本文提出了添加P+场限环和优化元胞尺寸的改进方案。添加P+场限环抑制了中间元胞电极外侧的尖峰电场,优化元胞尺寸改善了器件的反向恢复不均匀性,所提的两种方案均显著增强了多元胞自举二极管的反向恢复鲁棒性。仿真结果表明,优化结构的正向导通压降为0.84V(正向电流为100m A),击穿电压为152V,在100V工作电压和400m A导通电流条件下,反向恢复时间不大于40ns,反向恢复电流变化率达到700A/μs时仍能正常工作(传统结构小于133A/μs)。优化后的多元胞自举二极管,在不牺牲其正向电流能力和击穿电压的同时,反向恢复鲁棒性得到显著提升。
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