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近场超声悬浮技术是非接触悬浮技术领域发展的又一新高度,其领域的涉及面广泛,包括生物、化学、旋转机械及微机电系统等。由于传统的接触式传输平台在往返多次运输载有重要信息的半导体芯片时,极易损坏其表面造成信息属性的严重缺失,满足不了人们对信息化水平不断提高的需求,因此近场超声悬浮技术在微机电系统领域的发展显得尤为重要。本文通过理论模型计算与有限元分析对比设计近场超声悬浮系统各重要组成构件的尺寸及形状,在顺利搭建完成悬浮实验台后进行实验研究,分析提高近场悬浮特性的方法。随后,在悬浮实验平台基础之上实现了对近