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【摘 要】
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随着微电子产业的发展，器件尺寸日趋微型化。例如，目前铁电氧化物薄膜的应用环境已经达到亚微米尺度，并飞速地向深亚微米尺度、纳米尺度发展。然而随着薄膜厚度的减小，其介电、铁
【机 构】
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南京大学
【出 处】
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南京大学
【发表日期】
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2009年期
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