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原子层沉积工艺在石墨烯上沉积高k栅介质研究

来源 :温州大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wangqiang1818

【作 者】

：

张有为 

【机 构】

：

温州大学

【出 处】

：

温州大学

【发表日期】

：

2012年期

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