三轴高g值加速度传感器灵敏度校准及横向效应研究

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本文在查阅了大量国内外文献的基础上,以MEMS压阻式加速度计作为研究对象,采用理论分析与实验研究相结合的方法,对高g值加速度计的灵敏度校准及其横向效应进行了深入研究。主要内容包括:  (1)简要介绍了霍普金森杆装置,详细分析了激光多普勒测速原理。在多普勒信号解算方面,针对冲击加速度计的校准,编写了多普勒解算验证算法,利用相位求导法对多普勒信号进行结算。并且利用此方法对该压阻式加速度计进行了灵敏度校准。得到了X、Y、Z轴三个方向的灵敏度,并通过与原始灵敏度对比,证明了该试验装置和解算方法的有效性。  (2)由于压阻式硅微加速度传感器的设计和加工工艺方面的原因,总会产生较高的横向灵敏度,对于三轴加速度计来说,横向灵敏度更是一个较为突出的问题。因此从理论上分析了压阻式加速度计横向灵敏度产生原因。并且利用霍普金森杆对该加速度计进行了横向灵敏度比的实验。发现当X轴或Y轴作为主轴时,Z轴有很大的横向效应,远远超过了5%。但在Z轴作为主轴时,X轴和Y轴的横向效应较小。而且X、Y轴相互影响较小。  (3)通过对传感器横向灵敏度产生原因的分析,提出了理论上可以改进传感器横向灵敏度的方法。
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