【摘 要】
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该文尝试用绝缘的、非磁性的CN作为中间层,同主磁层CoZrNb组成多膜层,以讨论其磁性能的变化.首先,研究人员研究了CoZrNb单层膜与实现多层化后的CoZrNb/CN薄膜基本磁性能如矫
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该文尝试用绝缘的、非磁性的C<,3>N<,4>作为中间层,同主磁层CoZrNb组成多膜层,以讨论其磁性能的变化.首先,研究人员研究了CoZrNb单层膜与实现多层化后的CoZrNb/C<,3>N<,4>薄膜基本磁性能如矫顽力Hc、饱和磁化强度4πMs的变化情况.研究结果表明,在薄膜多层化后,矫顽力指标有大幅度的降低,降到了0.9Oe左右,从而大大改善了软磁性能.然后,研究人员对溅射态薄膜进行了不同温度的热处理,并将退火态的磁性能数据与溅射态的作了一下比较.结果表明,薄膜具有较好的热稳定性,在580℃退火时,X射线衍射显示出现微晶析出.即在一个很大的温度的范围内CoZrNb/C<,3>N<,4>保持非晶态.同时研究表明,退火能有效地减小矫顽力Hc而引起4πMs大幅度的降低.最后,将用磁性FeNi作中间层的多层膜与非磁性C<,3>N<,4>作中间层的多层膜在性能上作了比较,发现在轿顽力上并没有大的区别.
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