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SrTiO_3基材料作为目前最有发展前景的一种n型半导体热电材料,有望用于高温环境(~1000K),而且其无毒、无污染、制备成本低等优点,使其在制冷及废热发电领域有很大的应用潜力,备受研究者关注。SrTiO_3本身为绝缘材料,但通过Sr位或Ti位掺杂可以调节载流子浓度,提高SrTiO_3基氧化物的电导率,实现SrTiO_3基材料从绝缘体到半导体的转变。另外,热电薄膜材料有利于提高热电材料热电性能。所以,本文以SrTiO_3薄膜为研究对象,通过La掺杂及Ag复合,提高SrTiO_3基薄膜的热电性能。