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来源 :北京邮电大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
RF微器件的制造融合了微加工、集成电路SI工艺等各种技术,其在工作中又受到多种物理因素(如初始应力、机械接触、温度、热弹性、电磁效应、高度)的耦合影响,因此其计算模型的
【作 者】
:
张代波
【出 处】
:
北京邮电大学
【发表日期】
:
2011年01期
【关键词】
:
小波多尺度分析
小波无网格伽辽金法
小波无网格再生质点法
射频微器件
静电驱动电容式开关
扭转微镜
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