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【摘 要】
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在高功率激光材料中，氧化物薄膜是非常重要的一类。采用电子束热蒸发制备氧化物薄膜时，靶材可以选用金属氧化物、纯金属或低价金属氧化物。由于在电子束热蒸发沉积的过程中温度
【机 构】
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中国科学院大学
【出 处】
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中国科学院大学
【发表日期】
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2016年期
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