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目前,薄膜材料已成为微电子学、光电子学、材料表面改性、传感器和太阳能利用等许多新型交叉学科的重要的材料基础。其中,透明导电氧化物薄膜材料因其大的载流子浓度和光学禁带宽度而具有优良的光学性能和导电性能,应用领域非常广泛,比如应用于太阳能电池、平板显示器的透明电极、电磁防护屏等方面。ZnO薄膜由于具有优异的压电、光电、压敏等特性,原材料在自然界中的储量丰富、易于制造、成本低廉、无毒和化学稳定性好,近年来受到广泛的关注,特别是Al3+掺杂的ZnO薄膜(简称ZAO或AZO)。常用的制备氧化物