光敏型微透镜阵列的制作及其综合成象的研究

来源 :中国科学院西安光学精密机械研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaohu850412
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光敏型微透镜阵列是微小光学领域中重要的基础器件.象其它阵列元件一样,它顺应了光学元件微小化、阵列化的趋势.体现了普通光学透镜由分立元件向阵列元件的发展.由于其对光具有二维并行的聚焦、准直、成象、耦合等功能,特别是在用于综合成象时具有比较好的成象质量,所以有着十分广泛的应用前景.该文首先介绍了光敏玻璃的作用机制.从理论和实验两方面,较全面的研究了光敏型微透镜阵列的形成原理和制作工艺.得到了光敏玻璃密度变化与凸起高度的关系.在此基础上,制作了透镜直径分别为0.3mm、0.6mm的光敏型微透镜阵列.接着,从理论上探讨了阵列中各单元透镜的近轴光学性质.分析了光敏型微透镜阵列的综合成象特性.最后讨论了光敏型微透镜阵列的综合成象质量.
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