【摘 要】
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本文对大面积铜铟镓硒薄膜太阳能电池进行了研究。主要内容如下： 1、阐述了三元叠层硒化法制备CIGS太阳能薄膜电池的方法，该方法的主要优点在于各溅射靶材之间的污染很小、
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本文对大面积铜铟镓硒薄膜太阳能电池进行了研究。主要内容如下：
1、阐述了三元叠层硒化法制备CIGS太阳能薄膜电池的方法，该方法的主要优点在于各溅射靶材之间的污染很小、可以通过电压与电流精确控制各种元素含量、由于靶材同Se源处在不同的真空室，避免了靶中毒现象，提高的薄膜制备的可重复性；采用叠层制备方法，可以使各种元素充分的均匀混合接触，以利于与硒的反应，并可以获得平整的微观结构。
2. 对三元叠层硒化法这一特殊的工艺路线中关于Se含量控制进行了阐述，并在实验中验证了太过量的Se沉积到薄膜上并不利于优质薄膜的形成。
3. 对CIGS薄膜中的其它元素对薄膜的性能的影响进行了较为全面的分析。研究发现，对于Cu、In、Ga元素的精确控制对于薄膜的性能的改进同样具有不可忽略的作用。
4. 比较了不同工艺CdS的不同工艺过程。结果显示：对CIGS表面进行处理，调节镉盐、铵水的浓度会对电池的性能有一定的改善；在全部工艺过程中，加热是一个不可忽略的因素，合理的加热方式有助于优质薄膜的形成。
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