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该文采用热丝辅助射频等离子体化学汽相沉积技术,通过分解氨气(包括氮气),硼烷和氢气等反应气体,在硅,不锈钢,镍,钴,钽,钨,钛,钼和化学汽相沉积的金刚石薄膜衬底上,制备出氮化硼薄膜,利用红外吸收谱,拉曼散射,扫描电子显微镜,X光电子能谱,电子微探针技术和X射线衍射等结构表征和形态观察测试手段,讨论了涡旋叠层结构氮化硼以及不同衬底上立方氮化硼薄膜的生长特性,研究了制备工艺条件的变化对氮化硼薄膜立方相成核与生长特性的影响,并对热丝辅助射频等离子体化学汽相沉积法制备立方氮化硼薄膜的生长机理进行了探讨.