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测量技术在科学研究和工业生产中具有着重要意义，其中表面测量技术广泛用于形貌检测、三维重建、产品质量控制等领域。 本论文对基于激光三角法的高精度表面缺陷检测技术进行了改进。首先，本文介绍了激光三角法，然后，设计了测量系统结构并对系统标定进行了论述。 系统采用安装在直线导轨上的半导体激光器作为扫描物体表面的光源。在扫描过程中拍摄序列图像，物体表面上被激光扫描的所有点的三维坐标可以通过激光三角法计算得到。获得的点云图经过降噪和滤波处理，滤波后的各点坐标拟合成三维曲面，从拟合获得的曲面可以识别表面缺陷，并测量缺陷参数。最后，本论文对测量过程中的误差进行了分析。