热容型大功率半导体激光器瞬态热特性及热结构优化研究

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半导体激光器(Diode Laser,简称LD)作为一种新型的激光光源,因其具有转换效率高、体积小、重量轻、可靠性高等优点,目前广泛应用于工业、军事、科研等领域。随着半导体激光器输出功率的不断提高,不可避免的造成热积累相应的提高,热量的积累将引起激光器有源区的温升,导致激光器的寿命的降低、工作波长的红移和光谱的展宽。此外,随着结温的升高,激光器阈值电流呈指数形式增长,而斜率效率和功率呈指数形式下降。为了将有源区的热量及时有效的传导到外界环境中,目前主要采用水冷、风冷和半导体致冷器(TEC)冷却等主动冷却的形式进行散热,而主动冷却装置无疑将增加整个激光器系统的体积和重量,这使其无法应用在一些对体积、重量具有严格限制的特殊领域。因此在特殊应用条件下,依靠热导率高、比热容大的热沉进行被动冷却的激光器(热容型半导体激光器)应运而生。本文对半导体激光器热行为进行深入的研究和探讨,获得在无主动散热条件下激光器的工作极限,进而对激光器的散热结构进行优化,最终获得能够在特定工作条件下稳定工作的,紧凑型无主动散热高功率半导体激光器。此项研究具有重要的理论和实际意义。  在本论文中,首先从半导体激光器工作的机理出发,对大功率半导体激光器的热损耗机理进行分析,理论上得到了温度对大功率半导体激光器工作特性的影响,并利用有限元软件模拟计算在绝热条件下,热沉尺寸对激光器热特性的影响。在实际需求条件下,所模拟热沉的尺寸与微通道热沉的尺寸相当。当热沉的长度大于一定值时,进一步增加热沉的长度对激光器瞬态热特性影响较小。本论文所设计热沉长度较长,热沉长度的增加对激光器瞬态热特性的影响较小,而随着热沉宽度和厚度的增加激光器有源区的温升会随之降低。但当宽度和厚度的尺寸达到一定时,其对激光器热特性的影响程度减弱。基于模拟计算的结果和激光器长寿命工作需求,优化获得热沉的尺寸为26.6mm×11.5mm×4mm。  其次,对于处于连续工作状态的半导体激光器,基于ANSYS软件模拟计算激光器在低温、绝热的条件下,激光器主要依靠热导率高、比热容大的铜热沉进行被动冷却时的温度特性。得出激光器在工作3.8s时有源区的温升约为89.5℃。  最后,实际制备获得基于优化结构的半导体激光阵列模块,并在低温下对其进行热特性测试,测试结果与理论结果符合较好,验证了所设计的紧凑型无主动散热半导体激光器,在特定低温条件下工作的可行性,为今后在此基础上集成获得应用于特殊领域、更高功率的半导体激光器提供了理论与实验支撑。
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