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【摘 要】
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铟锡氧化物(ITO)透明导电薄膜是目前应用最为广泛的n型透明导电氧化物(TCOs)，它一直是材料和电子领域的热点之一。靶材是制备薄膜的重要原料，ITO靶材的性能对其镀膜的质量至关
【机 构】
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北京科技大学
【出 处】
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北京科技大学
【发表日期】
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2009年期
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