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本文组建了可以检测金属薄膜和薄介质膜的表面的形貌、厚度性质以及介电常数等性质的表面等离子体共振显微镜和光谱仪。利用该显微镜和光谱仪对金属银膜、银表面的花生酸LB膜、银表面十二烷基硫醇自组装膜样品进行了检测。利用表面等离子体共振显微镜得出了样品表面形貌。利用表面等离子体共振光谱仪得出了银膜的厚度和介电常数，银膜表面四层花生酸LB膜和单分子层十二烷基硫醇自组装膜的厚度。研制的显微镜和光谱仪的厚度分辨率均在纳米量级。
本文还从理论上分析了表面等离子体共振显微镜的横向和纵向分辨率。研究了金属入射光的波长和金属基底的厚度对表面等离子体共振的影响，一定波长的入射光对应一个最佳的金属基底厚度，所以可以通过选择波长和基底厚度来得出最佳得等离子体共振效果。