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臭氧是一种在医学、农业、化工、食品等行业都有着广泛应用的强效氧化剂、除臭剂、杀菌剂,主要通过氧气放电的手段制取。介质阻挡放电产生的大气压低温等离子体具有低价、高效、环保、温度较低等特征,因此用大气压低温等离子体制备臭氧是工业领域臭氧的主要生产制造手段之一,至今已有上百年历史,目前我国的等离子体臭氧发生器技术仍落后于世界水平,在产率及浓度上都难以达到高标准,因此臭氧发生器技术的研究与改进至今仍是等离子体科学领域的热点之一。本文中将采用介质阻挡放电器作为臭氧发生器的反应腔体,利用外接脉冲电源,以纯氧作为