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AS<'+>注入硅〔113〕缺陷微结构与多孔硅微结构高分辨电子显微术研究

来源 :南京大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：rlhRLH

【作 者】

：

朱健民 

【机 构】

：

南京大学

【出 处】

：

南京大学

【发表日期】

：

1993年期

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