【摘 要】
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该文利用DEM技术得到的硅和金属镍模具,对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚苯乙烯(PS)、聚甲醛(POM)、聚碳酸酯(PC)、聚氯乙烯(PVC)和有添加剂的黑色PMMA等高分子材料进行了微复制
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该文利用DEM技术得到的硅和金属镍模具,对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚苯乙烯(PS)、聚甲醛(POM)、聚碳酸酯(PC)、聚氯乙烯(PVC)和有添加剂的黑色PMMA等高分子材料进行了微复制工艺研究.还研究了模压材料、模压图形和模具对模压效果的影响,并进行了分析.针对模具污染的原因,采用溶剂清洗的方法对模具进行一定程度的修复,得到了较为理想的结果.在聚合物的微复制加工方面,该研究填补了国内空白.ICP硅深刻蚀是DEM技术中相当关键的一步.该文利用ICP硅深刻蚀工艺,制备了一种全新的LIGA掩模版.
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