论文部分内容阅读
该文研究用于光纤陀螺中的集成光学芯片与光纤环的耦合技术.根据波导与光纤耦合原理,分析平板波导和单模光纤的模式,在比较各种波导光纤耦合器后,提出了适用于该文特定结构的集成光学芯片与单模光纤的耦合设计方案-硅V型槽倒装自对准法. 作者利用硅材料(100)面的结构特性完成了硅V型槽的结构设计,在工艺上制备了硅V型槽连接器, 并完成了集成光学芯片与单模光纤的耦合封装工作.