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硅微加速度计在军事及民用领域具有广阔的应用前景。三轴微加速度计可以同时检测三个轴向的加速度,并且体积小、质量轻、功耗低,可批量制造,因而迅速成为研究的热点。以本单位关于微加速度计的前期研究为基础,针对前期设计制作的单片三轴微加速度计噪声大、解算精度差、一致性差等问题,进行了一系列优化改进。主要优化的方面包括结构设计优化、工艺优化、封装结构优化,并且重新设计了解耦算法。测试结果显示,优化后的加速度计性能较优化前有较大提升。研究工作主要包括以下几个方面:1.结构分析。从材料力学理论入手,详细推导了加速度