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【摘 要】
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以谐振技术为敏感机理的硅微机械谐振传感器一直是国内外MEMS(Microelectromechanical System)传感器的研究重点之一，其中采用光激励、光检测工作方式的硅微机械谐振传感器，兼
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
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中国科学院上海光学精密机械研究所
【发表日期】
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2006年期
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