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纳米计量学是纳米科学的重要分支和基础学科,用于提供纳米量级的几何量的测量.各种纳米测量方法中以光波长为基准的光学测量方法因能够朔源到米定义而独领风骚.该论文首次提出利用俣成波长实现干涉条纹光学细分的原理进行纳米测量,构建了"双波长共光路"纳米干涉测量系统,并对该纳米干涉测量系统的非线性误差、信号处理方法等问题进行了理论和实验研究.