【摘 要】
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提出了将模拟电荷法用于计算多导体互连电容矩阵的一种新的算法,该算法与已有的用互互连电容矩阵提取的算法（如有限差分法、有限元法）相比,计算速度快、通用性高,在算法的实现
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提出了将模拟电荷法用于计算多导体互连电容矩阵的一种新的算法,该算法与已有的用互互连电容矩阵提取的算法（如有限差分法、有限元法）相比,计算速度快、通用性高,在算法的实现中,采用DFP优化算法加速了计算过程中的收敛性,基于此算法,开发了用于多导体互连电容参数提取的通用程序.推导出了任意频率下具有矩形横截面的三维ULSI互连线的自感以及两极相等或不等长度的平行互连线的互感公式.利用上述公式可以计算任意垂直或平行互连线结构的互感和总电感,物理意义明确,得出的计算值与数值模拟软件FASTHENRY的模拟结果相比,偏差小于5﹪.改进了AWE法（渐近波形估值法）并用它来模拟RLC互连电路.用AWE法的模拟结果来确定一根互连导线的最坏条件延迟时间和过冲以及两极耦合互连导线间的窜扰.这些新的模拟结果增强了对GSI多层互连网络的电感效应的理解和优化设计.提出了一个计算互连系统热特性的准二维解析模型,用ANSYS模拟结果作了比较,符合很好.ANSYS数值模拟结果表明：低K介质的引入将导致互连温度的增加,最大直流电流密度的减小.
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