【摘 要】
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该文系统地研究了微石英晶振的多功能扫描探针显微技术.其主要研究成果如下:采用微石英晶振作为微力传感器来取代传统的微悬臂和光学检测装置,通过对微石英晶振的测量机理的
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该文系统地研究了微石英晶振的多功能扫描探针显微技术.其主要研究成果如下:采用微石英晶振作为微力传感器来取代传统的微悬臂和光学检测装置,通过对微石英晶振的测量机理的研究,建立了微石英晶振与样品表面作用的动力学模型,得到了微石英晶振的振动特性和间距的关系曲线,并对精密表面样品进行了检测.在压电陶瓷扫描器前粘附铝管以扩大其扫描范围,建立了压电陶瓷扫描器的圆弧变形模型,得到了扫描范围与陶管直径、加长长度等的关系,从理论上分析了陶管扫描器的耦合误差和形状误差.采用无机械摩擦、无间隙、运动灵敏度高的柔性铰链来构成宽范围扫描器,通过对宽范围弹性工作台位移特性的分析,提出应根据受力的不同而设计筋厚.使用微石英晶振来构造模块式多功能扫描探针显微镜以克服传统的仪器只能检测一种物理参数、功能单一的不足.从理论和实践上对金属丝在电解液中的插入深度、金属丝的直径、腐针电路电压和腐蚀溶液浓度等关键因素对金属针尖质量的影响进行了研究.
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