【摘 要】
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类金刚石(DLC)涂层具有超高硬度、高弹性模量、低摩擦系数、高抗磨损性能、优异的光电物理特性和稳定的化学惰性,在机械领域已经被广泛应用。作为零件耐磨保护层和刀具涂层已
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类金刚石(DLC)涂层具有超高硬度、高弹性模量、低摩擦系数、高抗磨损性能、优异的光电物理特性和稳定的化学惰性,在机械领域已经被广泛应用。作为零件耐磨保护层和刀具涂层已取得了良好使用效果,在光电学、声学、医学等领域也有着广阔的应用前景。涂层制备及使用过程中,主要存在以下问题：(1)涂层形成机理尚未明确,工艺参数对涂层生长的影响规律没有统一认识。(2)高涂层/基体结合强度和高硬度难以同时满足。(3)涂层/基体间界面结合性能的研究有待于进一步深化。在本课题中首先系统地做了工艺参数优化实验,研究工艺参数对涂层生长的影响规律,初步探究了涂层生长机理并以此为基础制备高硬度涂层。然后分别研究中间过渡层和交替涂层对提高涂层/基体界面结合强度及抗磨损能力的作用机制。设计并制备Cr/TiAl/TiAlN/DLC梯度涂层体系并与其它几种涂层体系相比较,此涂层不但能保持较高涂层硬度且其界面结合强度和磨擦磨损性能也较其它涂层显著提高；制备Cr/DLC交替涂层并详细研究了其界面结合性能,研究表明此涂层结合强度在所有涂层体系中最高但其硬度与单层DLC涂层相比有所降低。
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