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本论文的第一章介绍了LIGA技术的基本知识和LIGA技术的发展方向和LIGA技术对同步辐射光光源、波长、能量分布的要求，说明了同步辐射光影响LIGA技术的因素，同时对于光束线中的准直、聚焦元件对光束性能的重要性进行了说明。
第二章介绍了用于同步辐射光束线上的压弯机构，讨论了压弯机构的压弯、聚焦原理，进而建立了压弯机构工作过程的仿真模型并仿真了压弯机构的工作过程，最后对压弯过程中的特殊现象—反翘进行了仿真。利用仿真结果，给出了出现这种现象的合理的解释。
第三章介绍了同步辐射光束线上的光学元件的受热情况和热变形的原因，给出了其热学原理；使用XOP软件对光束线上的部分光学元件的光学特性进行了仿真模拟，得到了光学元件的特性参数和光束线的特性参数，利用该程序处理了光束线中的能量分布，并计算了在镜子表面上的能量沉积；利用有限元软件—ANSYS仿真了镜子表面上的能量分布情况，并进行了水冷装置的初步设计。
最后的两章对仿真结果与实际测试的结果进行了比较，由此说明了仿真方法的可行性。最后根据现有的同步辐射光的特点，指出了LIGA技术使用同步辐射光还需要解决的问题。