【摘 要】
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微扫描镜是微机电系统领域中一个崭新的和引人注目的研究课题.其中,采用压电陶瓷复合薄膜梁作为驱动元件的微扫描镜,具有很高的响应速度和较大的输出应力.该文讨论了目前有关
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微扫描镜是微机电系统领域中一个崭新的和引人注目的研究课题.其中,采用压电陶瓷复合薄膜梁作为驱动元件的微扫描镜,具有很高的响应速度和较大的输出应力.该文讨论了目前有关微机电系统建模与仿真的基本理论和方法,深入地分析了双层压电薄膜梁致动式微扫描镜的工作原理,建立了微镜多层压电薄膜梁的机电耦合静力学模型,推导出压电悬臂梁和其它构件的静态变形方程.采用把铰链因压电形变而引起的应力等效为作用在压电梁上的载荷的方法,为复杂结构微器件力学分析的研究开拓了思路.对于复杂结构微机电器件的分析,可以将其拆分为简单结构,然后采用力法解静不定结构的方法进行迭代求解.而多层压电悬臂梁的变形,则可以看作是等效弯曲力偶的作用,这很大程度简化了含有压电梁的复杂结构的分析.对微机电器件的分析具有普遍意义.
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