【摘 要】
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该篇论文介绍超高真空兼容的STM的设计及制作方案.完成了超高真空STM仪器的制作与调试.建立了完备的超高真空操作规则和部件清洗程序.解决了针尖的制备、粗逼近机制和隔震等
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该篇论文介绍超高真空兼容的STM的设计及制作方案.完成了超高真空STM仪器的制作与调试.建立了完备的超高真空操作规则和部件清洗程序.解决了针尖的制备、粗逼近机制和隔震等技术难题.经过多次实验,优化了STM的软件及硬件系统.解决了STM的大范围扫描的钨针尖制备问题,重复性良好.为粗逼近机构提供了一个走动可靠的步行器,可适用于超高真空、低温、大气、液体环境,编写了相应的控制程序,针尖-样品的间距调节范围没有限制.设计并制作了STM的超高真空工作台,包括隔震弹簧及涡旋阻尼的设计,达到较好的减震效果.设计了样品的准备、传递及夹紧方案.解决了原STM的工作不稳定的问题,详尽分析了STM系统的电子线路及软件的测试方案.对高定向石墨(HOPG)及光盘母盘的成像证明该仪器的工作正常.
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