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采用了一种无氟高分子辅助金属有机沉积法制备YBCO超导薄膜,并对YBCO的外延工艺进行系统化的研究,最终成功探究了低温外延工艺,取得了理想的结果。利用低温外延工艺,制备了微量Sm3+掺杂的YBCO薄膜,并对其掺杂效果进行了初步研究。第1章对超导相关知识作了概述。包括超导材料的发展、超导理论的发展、高温超导材料的结构和涂层导体及其制备方法。第2章对本论文涉及的实验方案和表征手段进行了阐述。介绍了本论文涉及的YBCO的制备方法及X射线衍射仪、扫描电镜、电磁特性测量系统等表征手段。