【摘 要】
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该文对采用微波等离子体化学气相合成技术,利用TiCl（g）+N+H化学气相反应体系合成氮化钛纳米粉体材料以及利用TiCl（g）+N+NH化学气相反应体系合成氮化硅纳米粉体材料进行了研究.氮
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该文对采用微波等离子体化学气相合成技术,利用TiCl<,4>（g）+N<,2>+H<,2>化学气相反应体系合成氮化钛纳米粉体材料以及利用TiCl<,4>（g）+N<,2>+NH<,3>化学气相反应体系合成氮化硅纳米粉体材料进行了研究.氮化硅是重要的高温结构材料,氮化硅陶瓷在高韧性、高温高强度、高硬度、耐磨蚀、密度低等方面,在高技术工程应用中均表现出显著的优良特性.但氮体钛和氮化硅这两种材料烧结性能较差,用纳米粉体材料可改善烧结性能,因而合成这两种纳米粉体材料具有重要意义.微波等离子体属非平衡的低温等离子体,其中电子温度远远高于重粒子的温度,这种特点可使微波等离子体能在较温和的条件下增强化学反应.借助于X射线衍射,透射电子显微镜,激光粒度分析,比表面积分析等对粉体的物性进行了研究.
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