溅射法制备β-FeSi2薄膜及其性能的研究

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【摘要】

：

利用磁控溅射法在硅和石英上沉积了不同厚度比的Fe/Si多层膜,通过退火制备了β-FeSi_2薄膜。退火后发现硅衬底上结构为Fe(20nm)/Si(64nm),Fe(2nm)/Si(6.4nm)和Fe(1nm)/Si(3.2nm)的多层膜完全生成β-FeSi_2相,石英上相同结构的多层膜由于Fe和Si的含量没有达到1:2而含有ε-FeSi金属相。硅和石英上薄膜的表面粗糙度都很小,随着亚层厚度的增加,

【作者】

：

张娟

【机构】

：

南京航空航天大学

【发表日期】

：

2010年03期

【关键词】

：

β-FeSi2薄膜 Fe/Si多层膜磁控溅射离子束溅射 B掺杂

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