论文部分内容阅读
CdTe/CdS薄膜太阳电池因其拥有较高的理论转化效率,以及高效、稳定、廉价等特点,是目前最受关注的薄膜光伏器件材料。典型的CdTe/CdS薄膜太阳电池是由N型的CdS层以及P型的CdTe层构成的异质结组成。CdS在太阳电池中作为N型半导体层和窗口层,其质量将直接影响在此基础上制备的吸收层薄膜质量的好坏,对电池的效率和寿命是非常重要的。另一方面,从太阳电池的产业化发展方向来看,采用全干工艺制作太阳电池是光伏产业发展的目标。真空蒸发法是物理气相沉积法(PVD)中的一种,已经有几十年的发展历史,广泛应用