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伴随着科技发展的日新月异,半导体产业在我国国民经济中的地位渐渐凸显,近年来随着智能手机,移动互联网和大数据的使用使得半导体产业又被推向了新的高潮。随着集成电路中的芯片尺寸已减小到20nm,人类已经进入了一个新信息时代。尺寸减小必将导致芯片集成度增加,因此对微电子测量技术也提出了新的挑战,近年来由于散射度量术的诸多优点。使得这种测量技术被广泛使用,作为一个散射度量术的重要应用,OCD(Optical Critical Dimension,光学关键尺寸)测量技术因其无损、方便、高效,日渐受到亲睐,并逐渐