【摘 要】
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光通信器件市场发展迅猛、产业规模日益膨胀,其中基于微光电机械芯片技术的光通信器件的研究正成为一个亮点;以该技术制造的微机械开关阵列将很可能成为核心光交换器件中的主
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光通信器件市场发展迅猛、产业规模日益膨胀,其中基于微光电机械芯片技术的光通信器件的研究正成为一个亮点;以该技术制造的微机械开关阵列将很可能成为核心光交换器件中的主流.该论文就是在这样的背景下,对基于MEMS技术的光开关单元展开了一定的研究.应用电容器分析模型,论文在对一般的梳状驱动结构进行了分析讨论,得出了驱动位移跟施加电压的关系曲线.在此基础上,提出了一种改进的梳状驱动方案;经过改进后,梳状驱动的边稳定性等性能得到一定程度的改善,并提高了最大可移动位移,同时等效的负荷降低.结构设计分析表明,在20V的驱动电压下可得到13.0μm的驱动位移.应用这种驱动结构,论文提出了一种移动平面波导式开关结构,该结构的优点是降低了对驱动器的要求;应用有效折射率方法,论文对波导结构及尺寸进行了设计;随后的计算结果表明1×2单元的损耗在1.3dB左右.同时,应用高斯光束分析方法,论文对基于微反射镜的自由空间结构也作了分析,讨论了插入损耗跟微镜尺寸、定位等方面的关系.最后,论文对MUMPs工艺加工以及封装、测试等作了简单的讨论.
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