【摘 要】
：
本文基于霍尔效应和立体结构硅磁敏三极管工作原理,构建三维磁传感器单片集成化结构模型。该集成化结构由四个立体结构硅磁敏三极管和一个霍尔磁传感器构成,包括四个发射极、
论文部分内容阅读
本文基于霍尔效应和立体结构硅磁敏三极管工作原理,构建三维磁传感器单片集成化结构模型。该集成化结构由四个立体结构硅磁敏三极管和一个霍尔磁传感器构成,包括四个发射极、四个基极、四个集电极、两个霍尔电压输出端和两个控制电流极。理论分析表明,沿x轴和y轴相反磁敏感方向放置的四个硅磁敏三极管构成两对差分结构,分别实现二维平面内x轴和y轴方向磁场测量,芯片中心位置霍尔磁传感器实现z轴方向磁场测量,该结构能够检测空间三维磁场。根据单片集成化结构模型,采用ATLAS构建三维磁传感器仿真结构模型,研究结构参数等对磁传感器特性影响。仿真结果给出,该结构可完成空间磁场测量并实现设计优化。在此基础上,通过L-Edit软件设计单片集成化芯片版图,基于MEMS技术在P型<100>晶向高阻单晶硅衬底上制作单片集成化三维磁传感器芯片,芯片尺寸2.3×2.3 mm2,通过集成电路内引线压焊技术实现芯片封装。在室温条件下,采用CH-Hall磁场校准系统对封装后的三维磁传感器进行静态特性测试,分别研究x轴、y轴和z轴方向磁传感器特性。当外加工作电压为6.0V,基极注入电流为8.0 mA时,x方向差分结构硅磁敏三极管磁灵敏度为231 mV/T,y方向差分结构硅磁敏三极管磁灵敏度为223 mV/T;当工作电压为5.0 V时,z方向霍尔磁传感器磁灵敏度为74 mV/T。在此基础上,实验研究单片集成三维磁传感器在恒定磁场中分别沿x轴、y轴和z轴等方向旋转时的磁特性。研究结果表明,单片集成三维磁传感器沿x方向和y方向四个立体结构硅磁敏三极管磁灵敏度较高且具有较好一致性,该集成化芯片实现空间三维磁场测量。
其他文献
随着教学体制的改革和新课程的实施，高中化学这门基础性的学科发生了一些变化，教学方法和学习方式都在不断更新。在新课程改革的大背景下，高中化学的学习更加重视学生的素质教育
The aim of this study is to evaluate the effect of various molar ratios of glycine to chromium salt (Gly : Cr) and different current densities on the corrosion
针对现阶段部分初中学生所表现出来的道德弱化行为，教师要及时发现，有效开展渗透性品德教育，引导学生将道德认同转化为道德自觉，促进学生健康成长。
近年来,多输入多输出(MIMO)技术引起人们的广泛关注,已经发展为下一代无线通信系统的核心技术之一,在无线通信中扮演重要的角色。MIMO技术能够在不损失频带和发射功率资源的
鲢（Hypophthalmichthysmolitrix）是我国“四大家鱼”之一，广泛分布于我国各大水系。尽管鲢经济价值很大，但相关分子遗传研究仍不多见。人类经济活动的影响使得鲢野生种群资源衰退
薄膜体声波谐振器(FBAR)由于工作频率高、插入损耗小、功率容量大、体积小、能与CMOS工艺兼容等特点,满足了现代通信系统的要求,被广泛的研发和应用。目前,FBAR在滤波器、双
语文课程具有丰富的人文内涵，是培养学生高尚的道德情操和健康的审美情趣、形成正确的价值观和积极的人生态度的重要课程。我们每一个教育工作者都应该自觉地、有意识地站在育
利用AFLP-AFLP银染法,该文探讨了AFLP技术在以下三个方面的应用:1.指产谱的构建:利用AFLP-银染法,构建了12种玉米杂交品种的指纹图谱.以此为基础,筛选到玉米杂种唐抗5号特异
The mechanical properties and wear resistance of the ultrafine bainitic steel austempered at various temperatures were investigated. Scanning electron microscop