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类金刚石(DLC)薄膜由金刚石相(sp3碳杂化结构)和石墨相(sp2碳杂化结构)组成,具有众多优良的性能,如硬度高、摩擦系数低、透光性能好、化学性质稳定,具有一定的生物相容性等。DLC薄膜作为一种新型薄膜材料,可被广泛应用在机械、光学、电子学、生物医学等领域。然而,在基础研究与实际应用过程中,发现DLC薄膜的缺陷,如较高的内应力,韧性和热稳定性差等,会削弱薄膜的性能和使用寿命。为此,科研人员展开了一系列的改性研究,发现通过对基底表面预处理、异质元素掺杂、构建过渡层,退火处理等都能有效改善薄膜的性能。