【摘 要】
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单晶硅的生长方式多种多样，目前主流的是区熔法和直拉法两种，但不管是哪一种生长方法，其对整个单晶硅生长过程的温度要求都是相当严苛的。作为单晶硅生长最重要的单晶炉，炉内工作
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单晶硅的生长方式多种多样，目前主流的是区熔法和直拉法两种，但不管是哪一种生长方法，其对整个单晶硅生长过程的温度要求都是相当严苛的。作为单晶硅生长最重要的单晶炉，炉内工作温度一般在1400℃，而单晶炉的炉体材料一般是不锈钢材料，其耐受温度在300℃以下，如果炉体长期在大于300℃的高温环境下工作，会由于不锈钢材料的氧化导致炉体表面发黄并生锈腐蚀，大大缩短炉体寿命，影响企业经济效益。为了防止炉体工作温度过高，必须对炉体进行冷却。本论文根据某企业单晶硅铸锭炉对冷却水的要求，结合生产中的各种实际情况，设计了一套基于西门子S7-200系列PLC为核心的炉体冷却控制系统对炉体进行循环冷却。整个系统的核心内容为工艺水冷却水的恒压变频控制，除此之外，给工艺冷却水降温的冷却塔冷却水、冰机冷冻水的控制以及给厂房降温的空调冷冻水的控制，备用水恒压变频控制以及三级供水系统是本文的重要研究内容。通过实际生产运行证实，不管投入运行的单晶炉数量如何变化，该冷却系统对炉体的冷却都达到了预期的效果，并具有恒压变频、自动警告、故障处理、备用切换等功能，较好的满足了单晶炉炉体的冷却要求。
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