【摘 要】
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近年来VO研究了飞速的发展,尤其是VO薄膜制备技术得到了进一步的发展,一些新的制备技术如溶胶-凝胶法、MOCVD技术相继成功地制备出具有可逆相变性质的VO薄膜,一些传统的制备
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近年来VO<,2>研究了飞速的发展,尤其是VO<,2>薄膜制备技术得到了进一步的发展,一些新的制备技术如溶胶-凝胶法、MOCVD技术相继成功地制备出具有可逆相变性质的VO<,2>薄膜,一些传统的制备方法也制备出了高性能的VO<,2>薄膜.但是这些制备技术都具有一些缺点,例如它们使用市场上不易购买、价格昂贵的金属钒和钒的醇盐作为原料,后者甚至还十分不稳定.该论文发展了一种新的制备技术即无机溶胶-凝胶法.该技术主要包括如下步骤:①熔体淬水制备V<,2>O<,5>胶体;②浸涂或旋涂制备V<,2>O<,5>凝胶薄膜;③烘干以驱除溶剂,制备V<,2>O<,5>晶态薄膜以及④真空热处理制备V<,2>O<,5>薄膜.该论文对这种技术进行了较为全面的研究.无机溶胶-凝胶法相对于其它制备技术来说,其突出的优点是它使用成本低性能稳定的V<,2>O<,5>为原料,制备过程中使用的胶体也非常稳定,最后的薄膜电阻突变性能十分优异.
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