【摘 要】
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该文首先对现今世界上能够实现纳米测量的传感技术作了综合比较,在此基础上提出了AC桥路的测量转换的方案.该文详细阐述了影响电容式位移传感器测量精度的主要问题的产生机理
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该文首先对现今世界上能够实现纳米测量的传感技术作了综合比较,在此基础上提出了AC桥路的测量转换的方案.该文详细阐述了影响电容式位移传感器测量精度的主要问题的产生机理,并提出了相应的解决方法.主要研究工作概括如下:1、研制双极型电容传感器测头,消除了测头对地杂散电容的不利影响;2、设计变压器电桥转换电路,实现信号抗杂散的测量转换.研制数字化正弦波发生器,提高桥路激励源幅度和频率的稳定性,有效地抑制了高次谐波的干扰;3、提出双路相敏检波的检测方案,消除桥路阻性不平衡.设计开关型相敏检波器,实现频率的窄带化测量,有效地抑制噪声的干扰.该文完成了测头以及测量转换电路的设计与研制.通过HP5528双频激光干涉仪与之比对.实验表明,该题研制的电容式位移传感器可以分辨纳米级的微小位移,而且具有较好的稳定性.
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