OTFT器件及气敏性能研究

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有机薄膜晶体管(OTFT),又称为有机薄膜场效应管。因其具有低功耗、质量轻、体积小等优点自问世以来就受到研究人员的普遍关注。目前,OTFT被广泛地应用于传感器、存储卡和有源驱动平板显示等领域。本文以重掺杂的n型硅为衬底、SiO2为绝缘层,分别以六噻吩(α-6T)和聚3-己基噻吩(P3HT)复合薄膜作为有源层制作了底栅极底接触结构的有机薄膜晶体管器件。在此基础上把器件应用于气体传感器,并测试了其对几种气体的响应特性,具体工作包含以下几个方面:1.采用真空蒸发法制备了六噻吩(α-6T)薄膜,研究了α-6T有机薄膜晶体管的电学性质。将制备好的六噻吩有机薄膜晶体管暴露在不同的气体中,研究了器件对各种气体的响应特性。结果表明α-6T-TFT传感器对NO2、NH3这两种气体表现出良好的响应特性。两种气体引起器件的漏源电流(IDS)变化相反。α-6T-TFT传感器对甲醇、乙醇、仲丁醇这三种有机挥发性蒸汽的也具有一定的敏感性。2.采用旋涂法分别制备了P3HT薄膜和P3HT/单壁碳纳米管(Single-walled Carbon Nanotubes,SWCNTs)复合薄膜。分别采用这两种材料为有源层制备了OTFT器件。比较这两种有源层器件的电学性质,结果表明,P3HT/SWCNTs薄膜晶体管的迁移率要高于P3HT-TFT。3.比较了P3HT/SWCNTs薄膜晶体管和P3HT-TFT对不同气体的响应。结果表明P3HT/SWCNTs薄膜晶体管对H2S气体表现出良好的响应特性。而P3HT-TFT对H2S并不敏感。另外,比较了P3HT-TFT和P3HT复合薄膜晶体管传感器对丙酮、甲醇、乙醇、正丁醇、异丙醇五种有机挥发性蒸汽的响应特性,结果表明,两种传感器对这几种气体都具有很好的响应性和恢复特性。但P3HT复合薄膜晶体管传感器的灵敏度要高于P3HT-TFT气体传感器。通过实验,还发现OTFT气体传感器的灵敏度可以通过选择合适的栅压来调制,这种优点是传统电阻式传感器所不具备的。
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